Engineering Ceramic Co., (EC © ™) Rapport:
Feedthroughs de vide EC - Aperçu technique
EC est spécialisée dans les aliments pour vide à haute performance en vedette:
✔ Ceramic insulators(Al₂o₃ / aln) pour l'isolement ultra-haute tension
✔ Technologie de brasage à vide (taux de fuite <10⁻⁹ mbar · l / s)
✔ Scellant hermétique pour les pompes turbomoléculaires / ioniques (UHV / XHV compatible)
✔ Configurations personnalisées pour les applications de semi-conducteurs, aérospatiales et de recherche
Tableau 1: Classification par principe de travail
Tableau 2: Classification par niveau de vide
Guide de sélection de la pompe à vide
Critères de sélection clés
1. Niveau de vide ultime
Le niveau de vide requis devrait s'aligner sur les spécifications du processus. Par exemple:Fabrication de semi-conducteursnécessite généralement des niveaux d'aspiration inférieurs à 10⁻⁶ PA
2. Vitesse de pompage
Mesuré danslitres par seconde(L / s) oumètres cubes par heure(m³ / h) doit être dimensionné de manière appropriée pour le volume de la chambre et la charge de gaz à haut débit (par exemple, les fours à vide) peuvent nécessiter plus de 1 000 m³ / h
3.Gas et compatibilité chimique
● Applications standard:Matériaux standard (acier inoxydable, aluminium)
● Environnements corrosifs:Nécessite des matériaux spécialisés tels que:
● Composants recouverts de PTFE (pour la résistance à l'acide)
● Hastelloy ou alliages de nickel (pour les chimies agressives comme le chlore)
4. Efficacité d'énergie et maintenance
Pompes à l'huile:
● Coût initial inférieur
● Exiger des changements d'huile réguliers (toutes les 2 000 à 4 000 heures)
● Risque de contamination de l'huile dans les processus sensibles
Pompes à sécher (sans huile):
● Investissement initial plus élevé
● Fonctionnement sans entretien (pas de changements d'huile)
● Préféré pour les processus propres (par exemple, pharmaceutiques, aliments)
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