Engineering Ceramics Inc. (EC © ™) Rapport:
CEAlimentation à vide- Résumé technique
EC se spécialise dans les aliments pour vide à haute performance tels que:
✔ Isolateur en céramique pour isolation ultra haute tension (al₂o₃ / aln)
✔ Technologie de brasage à vide (taux de fuite <10⁻⁹ mbar · l / s)
✔ Scellant hermétique pour les pompes turbo moléculaires / pompes ioniques (UHV / XHV compatible)
✔ Configurations personnalisées pour les applications de semi-conducteurs, aérospatiales et de recherche
Tableau 1: Classification basée sur le principe de fonctionnement
sortes |
Théorie du fonctionnement |
Vide final (PA) |
Caractéristiques principales |
Utilisations principales |
Pompe à palette rotative |
Transition avec une camionnette rotative |
1E-1 ~ 1E2 |
Type de joint d'huile, maintenance requise |
Pompe avant-couloir / dos |
Pompe à roulettes à sec |
Compression de gaz par spirales orbitales |
1E-2 ~ 1E1 |
Sans huile, faible vibration |
Équipement de laboratoire |
Racines souffleuses |
Transport de gaz à l'aide de lobes de comptoir rotatifs |
1E-1 ~ 1E3 |
Haut débit, souvent à plusieurs niveaux |
Système d'aspirateur industriel |
Pompe de diffusion d'huile |
Transfert par dynamique de jet à vapeur |
1E-7 ~ 1E-4 |
Pas de pièces mobiles, des pièges à froid requis |
Dépôt de faisceau électronique |
Turbo-pompe moléculaire |
Le rotor à grande vitesse (> 60k tr / min) entre en collision avec des molécules |
1E-9 ~ 1E-6 |
Propreté, sensible aux vibrations |
UHV Science Machine |
Pompe cryogénique |
Condensation de gaz sur des surfaces <20k |
<1E-10 |
MAXIMUM VISE ET RÉGÉNÉRATION RECLARATE REQUISE |
Simulation de l'environnement spatial |
Tableau 2: Classification par niveau de vide
Plage d'aspirateur |
Pression (PA) |
Type de pompe optimal |
Considérations techniques |
Vide grossier |
1E5 ~ 1E2 |
Palette rotative, diaphragme |
Support à haute pression avec ballast à gaz |
Vide faible |
1E2 ~ 1E-1 |
Racines + palette rotative |
Vitesse vs efficacité énergétique |
Vide élevé |
1E-1 ~ 1E-7 |
Diffusion, |
Prévention du dos |
Vide ultra-élevé (UHV) |
1E-7 ~ 1E-10 |
Ion, cryopump |
La sélection des matériaux est importante |
Vide extrêmement élevé |
<1E-10 |
Cryosystème d'ions hybrides |
Environnement de niveau quantique |
Guide de sélection de la pompe à vide
Critères de sélection clés
1. Niveau de vide final
Le niveau de vide requis doit répondre aux spécifications du processus. Par exemple:
- Dans la fabrication de semi-conducteurs, des niveaux d'aspiration inférieurs à 10⁻⁶ PA sont généralement nécessaires.
- Dans les processus industriels, il peut fonctionner efficacement dans la plage de 10⁻¹ à 10² PA
2. Vitesse de pompage
Mesuré en litres par seconde (L / s) ou un mètre cube par heure (m³ / h)
Choisissez la bonne taille pour votre capacité de chambre et votre charge de gaz
Les applications à haut débit (par exemple les fours à vide) peuvent nécessiter plus de 1 000 m³ / h
3. Compatibilité des gaz et des produits chimiques
- Utilisation standard: matériaux standard (acier inoxydable, aluminium)
- Environnement corrosif: des matériaux spéciaux sont requis, par exemple:
- Pièces de revêtement PTFE (pour résistants aux acides)
- Hastelloy ou alliage de nickel (pour de puissants produits chimiques tels que le chlore)
4. Efficacité énergétique et maintenance
- Pompe d'huile:
- Faible coût initial
- Des changements de pétrole réguliers sont nécessaires (toutes les 2 000 à 4 000 heures)
- le risque de contamination par l'huile à travers des processus sensibles
- Pompe à sec (sans huile):
- Investissement initial élevé
- Aucun entretien requis (pas de changement d'huile)
- Recommandé pour les processus propres (par exemple les médicaments, les aliments)
La terminologie principale couverte dans ce texte est la suivante:
1. Joints à vide - Un joint à vide, une technologie d'étanchéité à l'aspirateur et un alimentation à vide sont efficaces (connexion d'étanchéité).
2. Partie à travers (かんつうぶ) - partie à travers, se réfère généralement aux parties qui traversent les murs ou les partitions, et est parfois utilisée pour décrire des structures similaires à l'aspirateur.
3. Furanzi - bride, couramment utilisée dans les composants de connexion du système de vide, le matériel lié au vide peut impliquer ce terme.
4. Connecteur à vide - connecteur à vide, connecteur à vide sous-air et possibilité d'accéder à l'alimentation.
5. Pénétration d'isolation - Capacité à fonctionner pendant l'alimentation sous vide.
Ces mots ne sont pas entièrement équivalents à «l'alimentation sous vide», mais peuvent être utilisées comme approximations ou termes connexes dans certaines circonstances. La langue à utiliser dépend des détails techniques et des normes de l'industrie, il est donc recommandé de vous référer à la littérature spécialisée pertinente ou de consulter un expert pour garantir l'exactitude.
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